| 編號 | 名稱 | 圖片 |
|---|---|---|
| 1 | Class1及Class1000(0.1μm)無塵室〈3.8 × 3 .6× 2.9m3，濕度± 0.1℃，RH± 1%〉 |  |
| 2 | Class0.1 Mini-Environment一座 |  |
| 3 | 超音波風速計2台 |  |
| 4 | CNC particle counter 1台 |  |
| 5 | Laser particle counter〈0.1μm~1.0μm〉2台 |  |
| 6 | 超音波流量計 | |
| 7 | TESTO溫濕度計3台 |  |
| 8 | HOTWIRE熱線式風速計 |  |
| 9 | 微壓差計〈resolution ± 0.1Pa〉 |  |
| 10 | 工程分析軟體，包括：Fluent, Start-CD, Phoenics, CFX, ANSIS, PROE |  |
| 11 | Gas Detector〈for NH3,HF...etc〉 | |
| 12 | Power Meter | |
| 13 | RTD Thermal Meter | |
| 14 | 溫濕度校正器 | |
| 15 | 6階安德生採樣器1台 |  |
| 17 | 綠光雷射模組 |  |