本研討會主要的目的，是在提供廠務同仁有個交流的平台，半導體行業在台灣已經是個蓬勃發展的行業，眾多的從業同仁加入此行業，新的半導體廠誕生也有約10%的職員在廠務與潔淨室單位工作。
本次研討會共221人參加，其中，貴賓有10人、學界人士有57人、業界有155人，參與人數類型分布，參下圖
本次研討會共計發表41篇論文，其中，「半導體業空污管制與排放」相關論文有11篇、「廠務相關議題」的論文有10篇、「潔淨室相關議題」相關論文有10篇、「減碳與循環經濟」相關論文有10篇。相關知識與經驗的分享與討論很熱烈，不僅在中間休息時間，學員們紛紛踴躍交流；在聆聽論文發表時也認真專注、適時提問。總之，此次研討會不僅提供了豐富多元的知識饗宴，更提供了色彩繽紛的豐富晚宴，使得學員們的身心都獲得了大大的滿足。