作者: admin

賀本研究室

賴韋豪 碩士論文：

應用流場可視化與計算流體力學改善半導體蝕刻設備液膜均勻度之研究（發表於
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing  題目： Improving Liquid Film Thickness Uniformity of Semiconductor Etching Equipment Using Flow Field Visualization and CFD Simulation）

榮獲【台灣冷凍空調學會】–2021年工程論文獎獲優勝獎。

面對日益競爭的產業環境，唯有不斷的加強本身的知識技能才能立於不敗之地。臺北科技大學潔淨技術中心本著服務社會及提昇潔淨技術的宗旨，持續不斷引進新知並提供業界短期進修之機會。本課程主要針對廠務系統管理及工業潔淨室提供適切而即時的訓練課程。

課程內容函蓋業主(甲方) ，承商(乙方)，運轉者及設計者，所需之學理及實務的知識。課程講師來自業界及學術單位，皆為各領域之專家。期能對台灣科技產業之基礎貢獻一己之力。

♦日期：
廠務系統管理 :2022/08/09(二) 9:00-17:30
工業潔淨室 :2022/08/10(三) 9:00-17:30

♦費用：
每日課程 新台幣3,000元整。
產學聯盟及潔淨協會會員優待八折(團體會員享4個名額，若第5人報名則為原價)。
若您收到繳費通知，認為金額有誤請來電詢問。

***若報名人數未滿20人，將延後開課!!!***

♦繳費方式：
報名完成後，繳費單會寄送至您報名填寫的e-mail，
請持繳費單至便利商店、台銀分行或ATM等等方式進行繳費。
※郵局臨櫃、超商繳款銷帳較慢，需7-10個工作天才入帳。若急需收據請提早繳費或使用轉帳方式！

♦主講人：
胡石政 (台北科技大學)
呂慶惠 (工研院綠能所)
劉耀宇 (聯宙科技)
周龍賓 (台灣熱流科技)
李建霖 (漢科系統科技)
王冬信 (世界先進)
張振光 (益昇系統工程)
林廸 (台北科技大學)
康育豪 (工業技術研究院)

♦上課地點：
國立臺北科技大學 (地點待定) (臺北市大安區忠孝東路三段1號)

※交通路線說明

【自行開車】
中山高速公路(國道1號)北上至台北的建國北路三段：從圓山交流道/建國高架道路出口下交流道前往民權東路→走建國北路二段和建國北路一段前往建國南路一段→建國高架橋下之收費停車場。

【高鐵】台北站
轉乘捷運板南線(藍線)忠孝新生站四號出口。

【台鐵】
搭乘至台北車站再轉乘捷運板南線(藍線)忠孝新生站四號出口。

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♦主辦單位：
國立臺北科技大學潔淨技術研發中心
國立臺北科技大學半導體廠務暨製程設備中心

♦協辦單位：
中華潔淨技術協會、臺灣大學土木系高科技廠房設施研究中心、 SEMI高科技廠房設施委員會、台大氣候、天氣、災害研究中心-永續發展與產業科技組、國立臺北科技大學產學處

♦課程綱要

	8月9日《廠務系統管理》	
時間	課程名稱	講師
09:00-09:30	廠務系統管理概論	胡石政
09:30-10:30	電子業溫室氣體排放淨零排放挑戰與路徑	呂慶惠
10:30~12:00	廠務AMC量測儀器及系統建置	劉耀宇
12:00-13:00	午餐	
13:00-14:00	PCW系統管理與設計	周龍賓
14:00 -15:00	局部廢棄處理系統管理與設計	李建霖
15:00 -15:30	午茶	
15:30-16:30	廠務工安系統設計與管理	王冬信
16:30-17:30	純水系統管理與設計	王冬信

	8月10日《工業潔淨室》	
時間	課程名稱	講師
09:00-10:00	潔淨室之概念、標準及其設計程序	胡石政
10:00-11:00	潔淨室空調系統設計	張振光
11:00-12:00	潔淨室建築規劃	張振光
12:00-13:00	午餐	
13:00-15:00	循環空調系統	林廸
15:00-15:30	午茶	
15:30-17:30	無塵室之氣態化學污染物的控制設計	康育豪

♦ 報名網址：

https://forms.gle/xWyv3x6et7ihe3Zj9

報名截止：08/05(五)中午12:00
請注意報名截止時間！

♦ 聯絡資訊：

https://lin.ee/9iEgdo1

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TEL：
(02) 2771-2171 #3588 施小姐 、 劉小姐

胡石政教授

胡石政教授，任教於能源與冷凍空調工程系為最資深的前輩之一。在潔淨領域的產學合作經歷達15 年以上，現任於國立臺北科技大學特聘教授，畢業美國奧本大學機械工程碩士、英國利物浦大學建 築設備工程系博士，曾擔任TCTA中華潔淨技術協會第五屆理事長。潔淨協會特派員此次深入北科大 進行與專家的對話，用問答方式呈現，讓讀者一起身歷訪談其境。 

– 如何利用產學合作的模式來提昇產業競爭力？ 

胡教授分享，國立臺北科技大學（以下簡稱北科大）的潔淨中心的研發技術是以市場導向。過去十年 裡已申請將近三十個國內外發明專利，其中一半以上已成功技術轉移到產業。大部分廠商不偏向自 行投入研發成本，因此學校透過產學合作不斷精進與推陳出新，所以學校與企業的合作主要分為兩 種方式：分別為「提供服務」與「提供專利」。在服務上，以廠商提出問題，北科大協助技術支援，提供 解決方案。於專利上，依據廠商需求，了解需要專利或相關產品，北科大提供最合適的方案予以選 擇。 

– 有哪些產學合作成功案例？ 

近期的成功案例就屬與台積電的合作了，胡教授謙虛地講述。北科大利用12寸晶圓盒卸載裝置的污 染控制整體解決方案，台積電已認證，產品良率從1.8%提升到2%，已經賣出將近兩千套，創造將近 兩億台幣的產值。是產學合作上相當成功的商業模式和技術轉移典範。其他成功案例，把晶圓污染 的研究設備，推廣到潔淨領域的產業有如友達、群創、欣興電子等，以及將流體力學的知識用到極限 於手術室和醫院場域等，只要需要潔淨度高的環境，都可應用到台科大的技術。 

– 台科大紮實研發技術的秘密是什麼？ 

台科大與台積電合作十幾年了，在當中發現許多需求。尤其在高階製程的領域裡，大廠的設備90%以上需仰 賴國外進口，但晶圓代工卻佔台灣超過60%的總體經濟，國外進口的設備並非盡善盡美，依舊有疏忽於實際 製程上所需功能。因此台科大立基在「國外設備大廠沒有做到的，我們來做。」如晶圓微小污染的解決方案， 小領域上的創新，技術卻獨步全球。 

– 放眼國際市場，台灣潔淨技術的推廣與展望？ 

「台灣應把推廣潔淨技術作為品牌商品帶入國際市場」，胡教授語重心長的表示。台灣在流程設備上有獨特 的設計理念，有別於傳統日本、美國、德國的潔淨技術，台灣能利用降低成本與產品最佳化的方式施工，透

過多年於晶圓業與潔淨室的實戰經驗，以及套用嚴格的環保標準。堅強實力與高競爭力絕不在話下。但這樣 大型群體戰，目前除了台積電和漢唐以外，台灣沒有其他公司能做全面性的承包工程與資源整合。原因除了 跨國人才不足，跨國資源規模的公司也不足。現階段許多是基本與中階的技術需求，如東南亞等市場。針對 中國大陸的市場，胡教授持保留態度。然而，許多其他國家廠商未知的電子業需求，就是台灣團隊能夠前進 國際市場的強大奠基點。 

在成就感與危機感間交錯，胡石政教授二十幾年的任教與產學經驗裡，幾乎是看著台灣半導體業的陣痛、成 長與蓬勃。相信在這短短的訪談間，只是胡教授學海裡的冰山一角。即使有幾十年的歷練，仍秉持謙虛與謹 慎的態度，默默提拔新世代神才，精進潔淨領域的研發。 

施陽正教授 

施陽正教授，目前任教於能源與冷凍空調工程系也是最資深前輩之一，在國立臺北科技大學服務有 二十餘年的時間。畢業於國立台灣大學機械工程系碩士、美國賓州州立大學機械工程系博士，曾擔 任ASHRAE美國冷凍空調工程師學會台灣分會區會長。專攻能源與冷凍空調工程上的國內外產學研 發。與施教授的專訪，也將以互動對答呈現，提供讀者貼切情境視角。 

– 近期有哪些國內和國外的產學合作成功案例？ 

國外產學合作有如丹麥的風力發電在彰濱工業區一帶，委託台灣模擬如何設計洞道提供高效輸電。 施教授分享，因為台灣天氣與北歐不同，相較於北歐的乾燥，台灣整年高溫濕熱時間長，更需要高效 散熱。 當溫度過高時，會降低電纜效率。因此北科大在去年與前年，由丹麥委託合作專研這個區塊， 提供對應情境式的模擬與設計。國內產學合作案，規模較大的，如桃園捷運，就必須測試月台門是否 能承受捷運車廂在運行中承受的壓力，用流體力學在電腦上做模擬等。 

– 分享北科大「國際產學聯盟IAIA」的成立理念與價值？ 

這是北科大主導的聯盟，目前上市櫃有10%都是北科大校友，因此希望透過這個平台中心來扮演橋 樑角色，強化與互補產學間的資源。產學聯盟深耕於五大區塊，分別是產學推動組、專利技轉組、創 新育成組、萌芽中心和價創計畫。去年在產學獎當中，胡教授的帶領團隊拿下專業技轉組冠軍，施教 授的帶領團隊奪得產學推動組冠軍，雙冠王的組合，表現相當卓越。 

– 未來是否將推廣北科大與產業的合作模式發展至國際業界呢？

施老師表示，推廣產學合作的模式到國際業界，目前想以高效率的發展，是配合政府的南向政策先 往鄰近的國家比較容易有所發展。台灣屬ASHRAE(American Society of Heating and Air-Conditioning Engineers)美國冷凍空調工程師學會的第十三區會員國之一，同區的東南亞國家佔 了八個、東北亞國家有日本和南韓兩個。透過政策與國際學會優勢，以鄰近國家為優先發展可行性 較高。 

針對目前節能減碳的產學合作，施教授坦言綠能的確是挑戰性高的主題，半導體本身是個耗電的製 程。但此領域由胡教授專研，近期北科大附近成立了特別輔導環保與綠能的單位，提供專為半導體 相關廠商的協助中心。在承接數種產學案子中，大多是需要大量研究數據與電腦模擬解決方案，因 此每個有專利的研發過程中，比起現場製程消耗的體力，北科大投入的是團隊努力不懈、不斷創新 的腦力與實驗精神。

「潔淨科技與產學鏈結」- 臺北科技大學採訪特輯 

朝氣十足的青年學子穿梭各處校門口，有此起彼落的笑聲和各抒己見的討論。潔淨特派員這次參訪的是台 灣臥虎藏龍的人才中心及研發重地，臺北科技大學。我們榮幸體驗縮小版潔淨無塵室、參觀電腦模擬實驗場 域研究室，並專訪到兩位資深潔淨技術領域的教授，一探北科大於近幾十年來深耕的產學合作成果。 

第一站：模擬潔淨無塵室 

首先到北科大縮小版的模擬潔淨無塵室，由三位系上研究生詳盡的解說，從通過空氣浴塵室後，牆 上正負壓的標示與緣由、微環境的用途、晶圓卸載機組與清洗區等，精確流程乘載的是成千上億市 值的晶圓件，馬虎不得。 

第二站：電腦模擬實驗場域研究室 

由中華潔淨技術協會現任理事長黃佳松熱情帶領，來到北科大專屬的電腦模擬實驗場域研究室。進門迎面 一座大型特殊機台，原來這是一套北科大自行研發的「大面積流場模擬裝置」，帶領講述的研究生欣喜 地解釋，透過四大設備精進的突破設計，能產出可視化的大面積流場實驗成果，如何有別於市面上 類似裝置，分別是：雷射光源、示蹤氣體、高感度相機及PIV分析軟體。 

透過大面積流場模擬裝置能產出實驗結果，如晶圓盒迫淨時垂直面汙染物入侵情況與其濕度與PIV 分析、模擬人體使用高流量呼吸器與其PIV分析、可視化觀察高解析與高廣角的室內氣流流動與流場 情形等。了解模擬裝置的功能後，研究生與黃理事長利用歷屆合作專案，講述實驗的發展流程與方 法，如從基本建模、場域位置擺設、廠區測試、氣流模擬、數據套入來源等。依據不同廠商的需求，從 各面向周詳考慮，可說是相當精湛的產學合作典範。 

第三站：教授專訪 – 胡石政與施陽正 

參訪中訪談兩位身經百戰的金頭腦前輩，分別是：胡石政教授，專精於潔淨技術的研發與產學。施陽 正教授，專精於能源與機械工程的產學。兩位加總超過半世紀在教育與產業間的投入，各項成果的 獲得業界嘉許肯定，也對未來的膠著擔憂。北科大數年來透過產學合作，專利技術保護與成功技轉

商品的案子不勝枚舉，了解台灣許多廠商傾向與學術研究界作產學研發的方式，開發新技術或解決 需求方案。至今，已協助無數潔淨領域的業者，提升良率與市場競爭力。參與研發的師生也能發揮所 學應用，能有進入職場前實際演練，更熟知產業需求。 

總結 

台灣技術底蘊深，市場經驗純熟，但真正在國際市場能佔有一席之地的，除了赫赫有名的幾間大廠 外，其他中小型規格的企業幾乎區指可數。胡石政教授於專訪中提到「台灣應把推廣潔淨技術作為品 牌商品帶入國際市場」，靠的是台灣擅長利用降低成本與產品最佳化的方式施工，結合多年於晶圓業 與潔淨室的實戰經驗，套用嚴格的環保標準，進而創造高競爭力的潔淨流程承包工程。而目前面臨 最大的挑戰是，跨國人才與跨國公司的資源不足。 

對於未來有危機，就是轉機的希望。從一雙雙發光自信的雙眸中分享參訪專案的研發進程，相信台 灣新生代於前輩的用心引領，將出類拔萃，在未來國際市場上闖出一片名號。耳熟能詳的諺語：「一 個人跑得快，一群人走得遠」。如資深半導體產業評論家陸行之說的「台灣必須學會打群架，才能立 基台走向國際，不再是紙上談兵。」