| 编号 | 名称 | 图片 |
|---|---|---|
| 1 | Class1及Class1000(0.1微米)无尘室〈3.8 × 3 .6×2.9立方米，湿度± 0.1℃，相对湿度±1％〉 |  |
| 2 | Class0.1 Mini-Environment一座 |  |
| 3 | 超音波风速计2台 |  |
| 4 | CNC粒子计数器1台 |  |
| 5 | 激光粒子计数器〈0.1μm〜1.0μm〉 2台 |  |
| 6 | 超音波流量计 | |
| 7 | TESTO温湿度计3台 |  |
| 8 | HOTWIRE热线式风速计 |  |
| 9 | 微压差计〈resolution ± 0.1Pa〉 |  |
| 10 | 工程分析软体，包括：流利, 启动光盘, 腓尼基人, CFX, 美标, 品尝 |  |
| 11 | 气体检测仪〈用于NH3，HF ...等〉 | |
| 12 | 功率计 | |
| 13 | RTD温度表 | |
| 14 | 温湿度校正器 | |
| 15 | 6阶安德生采样器1台 |  |
| 17 | 绿光雷射模组 |  |