赖韦豪硕士学位论文获选工程论文奖

贺本研究室

赖韦豪 硕士论文：

应用流场可视化与计算流体力学改善半导体蚀刻设备液膜均匀度之研究（发表于
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 题目： 使用流场可视化和CFD模拟提高半导体蚀刻设备的液膜厚度均匀性）

荣获【台湾冷冻空调学会】–2021年工程论文奖获优胜奖。