台北科技大学厂务与洁净室技术短期课程-2023(新竹场)
2022毕业影片
恭贺：胡石政老师荣获111年教育部国家产学大师奖
2022年厂务与洁净室技术暨学术研讨会征文
2022年厂务与洁净室技术暨学术研讨会将于12月9日（星期五）举行，此次研讨会将结合厂务相关设施、无尘室、AMC的监测与控制、能源管理议题、节能减碳、净零碳排等多元议题，敬请各位产学界菁英踊跃投稿。
1.请于截稿日11/11(五)前将简报直接以电子邮件传至联络人电子信箱。
2.简报格式请点选连结，下载格式档案，并寄至联络人电子信箱。
3.被接受之简报，须授权主办单位将简报收录电子论文集。
4.每篇简报需至少一位作者注册报名，并出席会议报告论文。注册表格请点选连结，并寄至联络人电子信箱。
【2022注册报名表】(https://forms.gle/33quEexxcCpkxQq66)
5.在收到您的文章后，我们会在11/18后寄发接受函；若未收到，请主动来信联络，邮件主旨注明「投稿2022年厂务与洁净室技术暨学术研讨会」。
6.征文内容、研讨会议程及相关资讯详如下方海报，敬请点选参阅。
赖韦豪硕士学位论文获选工程论文奖
贺本研究室
赖韦豪 硕士论文：
应用流场可视化与计算流体力学改善半导体蚀刻设备液膜均匀度之研究（发表于
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 题目： 使用流场可视化和CFD模拟提高半导体蚀刻设备的液膜厚度均匀性）
荣获【台湾冷冻空调学会】–2021年工程论文奖获优胜奖。
2022年洁净室与厂务系统短期课程-台北场
面对日益竞争的产业环境，唯有不断的加强本身的知识技能才能立于不败之地。台北科技大学洁净技术中心本着服务社会及提升洁净技术的宗旨，持续不断引进新知并提供业界短期进修之机会。精选。
课程内容函盖业主(甲方) ，承商(乙方)，运转者及设计者，所需之学理及实务的知识。课程讲师来自业界及学术单位，皆为各领域之专家。期能对台湾科技产业之基础贡献一己之力。
♦日期：
厂务系统管理 :2022/08/09(二) 9:00-17:30
工业洁净室 :2022/08/10(三) 9:00-17:30
♦费用：
每日课程 新台币3,000元整。
产学联盟及洁净协会会员优待八折(团体会员享4个名额，若第5人报名则为原价)。
若您收到缴费通知，认为金额有误请来电询问。
***若报名人数未满20人，将延后开课!!!***
♦缴费方式：
报名完成后，缴费单会寄送至您报名填写的e-mail，
请持缴费单至便利商店、台银分行或ATM等等方式进行缴费。
※邮局临柜、超商缴款销帐较慢，需7-10个工作天才入帐。若急需收据请提早缴费或使用转帐方式！
♦主讲人：
胡石政 (台北科技大学)
吕庆惠 (工研院绿能所)
刘耀宇 (精选)
周龙宾 (精选)
李建霖 (精选)
王冬信 (世界先进)
张振光 (益升系统工程)
林迪 (台北科技大学)
康育豪 (工业技术研究所)
♦上课地点：
国立台北科技大学 (地点待定) (台北市大安区忠孝东路三段1号)
※交通路线说明
【自行开车】
精选(精选)北上至台北的建国北路三段：从圆山交流道/建国高架道路出口下交流道前往民权东路→走建国北路二段和建国北路一段前往建国南路一段→建国高架桥下之收费停车场。
【高铁】台北站
转乘捷运板南线(蓝线)忠孝新生站四号出口。
「南科七路」及「南科商场」站下车或搭乘计程车前往南科园区
搭乘至台北车站再转乘捷运板南线(蓝线)忠孝新生站四号出口。
♦主办单位：
国立台北科技大学洁净技术研发中心
国立台北科技大学半导体厂务暨制程设备中心
♦协办单位：
中华洁净技术协会、台湾大学土木系高科技厂房设施研究中心、 SEMI高科技厂房设施委员会、台大气候、天气、灾害研究中心-永续发展与产业科技组、国立台北科技大学产学处
♦课程纲要
| | 8月9日《厂务系统管理》 | |
| 时间 | 课程名称 | 老师 |
| 09:00-09:30 | 厂务系统管理概论 | 胡石政 |
| 09:30-10:30 | 电子业温室气体排放净零排放挑战与路径 | 吕庆惠 |
| 10:30〜12:00 | 「南科七路」及「南科商场」站下车或搭乘计程车前往南科园区 | 刘耀宇 |
| 12:00-13:00 | 午餐 | |
| 13:00-14:00 | PCW系统管理与设计 | 周龙宾 |
| 14:00 -15:00 | 局部废弃处理系统管理与设计 | 李建霖 |
| 15:00 -15:30 | 午茶 | |
| 15:30-16:30 | 厂务工安系统设计与管理 | 王冬信 |
| 16:30-17:30 | 纯水系统管理与设计 | 王冬信 |
| | 8月10日《工业洁净室》 | |
| 时间 | 课程名称 | 老师 |
| 09:00-10:00 | 洁净室之概念、标准及其设计程序 | 胡石政 |
| 10:00-11:00 | 洁净室空调系统设计 | 张振光 |
| 11:00-12:00 | 洁净室建筑规划 | 张振光 |
| 12:00-13:00 | 午餐 | |
| 13:00-15:00 | 循环空调系统 | 林迪 |
| 15:00-15:30 | 午茶 | |
| 15:30-17:30 | 无尘室之气态化学污染物的控制设计 | 康育豪 |
♦ 报名网址：
https://forms.gle/xWyv3x6et7ihe3Zj9
报名截止：08/05(五)中午12:00
请注意报名截止时间！
♦ 联络资讯：
*加入Line官方帐号以便即时接收相关资讯
电话：
(02) 2771-2171 #3588 施小姐 、 刘小姐
国立台北科技大学 人物访谈
胡石政教授
胡石政教授，任教于能源与冷冻空调工程系为最资深的前辈之一。在洁净领域的产学合作经历达15 年以上，现任于国立台北科技大学特聘教授，毕业美国奥本大学机械工程硕士、英国利物浦大学建 筑设备工程系博士，曾担任TCTA中华洁净技术协会第五届理事长。洁净协会特派员此次深入北科大 进行与专家的对话，用问答方式呈现，让读者一起身历访谈其境。
– 如何利用产学合作的模式来提升产业竞争力？
胡教授分享，国立台北科技大学（以下简称北科大）的洁净中心的研发技术是以市场导向。过去十年 里已申请将近三十个国内外发明专利，其中一半以上已成功技术转移到产业。大部分厂商不偏向自 行投入研发成本，因此学校透过产学合作不断精进与推陈出新，所以学校与企业的合作主要分为两 种方式：分别为「提供服务」与「提供专利」。在服务上，以厂商提出问题，北科大协助技术支援，提供 解决方案。于专利上，依据厂商需求，了解需要专利或相关产品，北科大提供最合适的方案予以选 择。
– 有哪些产学合作成功案例？
近期的成功案例就属与台积电的合作了，胡教授谦虚地讲述。北科大利用12寸晶圆盒卸载装置的污 染控制整体解决方案，台积电已认证，产品良率从1.8%提升到2%，已经卖出将近两千套，创造将近 两亿台币的产值。是产学合作上相当成功的商业模式和技术转移典范。其他成功案例，把晶圆污染 的研究设备，推广到洁净领域的产业有如友达、群创、欣兴电子等，以及将流体力学的知识用到极限 于手术室和医院场域等，只要需要洁净度高的环境，都可应用到台科大的技术。
– 台科大扎实研发技术的秘密是什么？
台科大与台积电合作十几年了，在当中发现许多需求。尤其在高阶制程的领域里，大厂的设备90%以上需仰 赖国外进口，但晶圆代工却占台湾超过60%的总体经济，国外进口的设备并非尽善尽美，依旧有疏忽于实际 制程上所需功能。因此台科大立基在「国外设备大厂没有做到的，我们来做。」如晶圆微小污染的解决方案， 小领域上的创新，技术却独步全球。
– 放眼国际市场，台湾洁净技术的推广与展望？
「台湾应把推广洁净技术作为品牌商品带入国际市场」，胡教授语重心长的表示。台湾在流程设备上有独特 的设计理念，有别于传统日本、美国、德国的洁净技术，台湾能利用降低成本与产品最佳化的方式施工，透
过多年于晶圆业与洁净室的实战经验，以及套用严格的环保标准。坚强实力与高竞争力绝不在话下。但这样 大型群体战，目前除了台积电和汉唐以外，台湾没有其他公司能做全面性的承包工程与资源整合。原因除了 跨国人才不足，跨国资源规模的公司也不足。现阶段许多是基本与中阶的技术需求，如东南亚等市场。针对 中国大陆的市场，胡教授持保留态度。然而，许多其他国家厂商未知的电子业需求，就是台湾团队能够前进 国际市场的强大奠基点。
在成就感与危机感间交错，胡石政教授二十几年的任教与产学经验里，几乎是看着台湾半导体业的阵痛、成 长与蓬勃。相信在这短短的访谈间，只是胡教授学海里的冰山一角。即使有几十年的历练，仍秉持谦虚与谨 慎的态度，默默提拔新世代神才，精进洁净领域的研发。
施阳正教授
施阳正教授，目前任教于能源与冷冻空调工程系也是最资深前辈之一，在国立台北科技大学服务有 二十余年的时间。毕业于国立台湾大学机械工程系硕士、美国宾州州立大学机械工程系博士，曾担 任ASHRAE美国冷冻空调工程师学会台湾分会区会长。专攻能源与冷冻空调工程上的国内外产学研 发。与施教授的专访，也将以互动对答呈现，提供读者贴切情境视角。
– 近期有哪些国内和国外的产学合作成功案例？
国外产学合作有如丹麦的风力发电在彰滨工业区一带，委托台湾模拟如何设计洞道提供高效输电。 施教授分享，因为台湾天气与北欧不同，相较于北欧的干燥，台湾整年高温湿热时间长，更需要高效 散热。 当温度过高时，会降低电缆效率。因此北科大在去年与前年，由丹麦委托合作专研这个区块， 提供对应情境式的模拟与设计。国内产学合作案，规模较大的，如桃园捷运，就必须测试月台门是否 能承受捷运车厢在运行中承受的压力，用流体力学在电脑上做模拟等。
– 分享北科大「国际产学联盟IAIA」的成立理念与价值？
这是北科大主导的联盟，目前上市柜有10%都是北科大校友，因此希望透过这个平台中心来扮演桥 梁角色，强化与互补产学间的资源。产学联盟深耕于五大区块，分别是产学推动组、专利技转组、创 新育成组、萌芽中心和价创计画。去年在产学奖当中，胡教授的带领团队拿下专业技转组冠军，施教 授的带领团队夺得产学推动组冠军，双冠王的组合，表现相当卓越。
– 未来是否将推广北科大与产业的合作模式发展至国际业界呢？
施老师表示，推广产学合作的模式到国际业界，目前想以高效率的发展，是配合政府的南向政策先 往邻近的国家比较容易有所发展。台湾属ASHRAE(美国供暖和空调工程师协会)美国冷冻空调工程师学会的第十三区会员国之一，同区的东南亚国家占 了八个、东北亚国家有日本和南韩两个。透过政策与国际学会优势，以邻近国家为优先发展可行性 较高。
针对目前节能减碳的产学合作，施教授坦言绿能的确是挑战性高的主题，半导体本身是个耗电的制 程。但此领域由胡教授专研，近期北科大附近成立了特别辅导环保与绿能的单位，提供专为半导体 相关厂商的协助中心。在承接数种产学案子中，大多是需要大量研究数据与电脑模拟解决方案，因 此每个有专利的研发过程中，比起现场制程消耗的体力，北科大投入的是团队努力不懈、不断创新 的脑力与实验精神。
国立台北科技大学 参访花絮
「洁净科技与产学链结」- 台北科技大学采访特辑
朝气十足的青年学子穿梭各处校门口，有此起彼落的笑声和各抒己见的讨论。洁净特派员这次参访的是台 湾卧虎藏龙的人才中心及研发重地，台北科技大学。我们荣幸体验缩小版洁净无尘室、参观电脑模拟实验场 域研究室，并专访到两位资深洁净技术领域的教授，一探北科大于近几十年来深耕的产学合作成果。
第一站：模拟洁净无尘室
首先到北科大缩小版的模拟洁净无尘室，由三位系上研究生详尽的解说，从通过空气浴尘室后，墙 上正负压的标示与缘由、微环境的用途、晶圆卸载机组与清洗区等，精确流程乘载的是成千上亿市 值的晶圆件，马虎不得。
第二站：电脑模拟实验场域研究室
由中华洁净技术协会现任理事长黄佳松热情带领，来到北科大专属的电脑模拟实验场域研究室。进门迎面 一座大型特殊机台，原来这是一套北科大自行研发的「大面积流场模拟装置」，带领讲述的研究生欣喜 地解释，透过四大设备精进的突破设计，能产出可视化的大面积流场实验成果，如何有别于市面上 类似装置，分别是：雷射光源、示踪气体、高感度相机及PIV分析软体。
透过大面积流场模拟装置能产出实验结果，如晶圆盒迫净时垂直面污染物入侵情况与其湿度与PIV 分析、模拟人体使用高流量呼吸器与其PIV分析、可视化观察高解析与高广角的室内气流流动与流场 情形等。了解模拟装置的功能后，研究生与黄理事长利用历届合作专案，讲述实验的发展流程与方 法，如从基本建模、场域位置摆设、厂区测试、气流模拟、数据套入来源等。依据不同厂商的需求，从 各面向周详考虑，可说是相当精湛的产学合作典范。
第三站：教授专访 – 胡石政与施阳正
参访中访谈两位身经百战的金头脑前辈，分别是：胡石政教授，专精于洁净技术的研发与产学。施阳 正教授，专精于能源与机械工程的产学。两位加总超过半世纪在教育与产业间的投入，各项成果的 获得业界嘉许肯定，也对未来的胶着担忧。北科大数年来透过产学合作，专利技术保护与成功技转
商品的案子不胜枚举，了解台湾许多厂商倾向与学术研究界作产学研发的方式，开发新技术或解决 需求方案。马上，已协助无数洁净领域的业者，提升良率与市场竞争力。参与研发的师生也能发挥所 学应用，能有进入职场前实际演练，更熟知产业需求。
总结
台湾技术底蕴深，市场经验纯熟，但真正在国际市场能占有一席之地的，除了赫赫有名的几间大厂 外，其他中小型规格的企业几乎区指可数。胡石政教授于专访中提到「台湾应把推广洁净技术作为品 牌商品带入国际市场」，靠的是台湾擅长利用降低成本与产品最佳化的方式施工，结合多年于晶圆业 与洁净室的实战经验，套用严格的环保标准，进而创造高竞争力的洁净流程承包工程。而目前面临 最大的挑战是，跨国人才与跨国公司的资源不足。
对于未来有危机，就是转机的希望。从一双双发光自信的双眸中分享参访专案的研发进程，相信台 湾新生代于前辈的用心引领，将出类拔萃，在未来国际市场上闯出一片名号。耳熟能详的谚语：「一 个人跑得快，一群人走得远」。如资深半导体产业评论家陆行之说的「台湾必须学会打群架，才能立 基台走向国际，不再是纸上谈兵。」
